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空气洁净度级表

空 气 洁 净 度 等 级
洁净室及洁净区内空气中悬浮粒子洁净度等级应按表
 洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级

空气洁净
度等级
(N)
大于或等于表中粒径的最大浓度限值(pc/m3)




0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1μm 5μm
1 10 2



2 100 24 10 4

3 1000 237 102 35 8
4 10000 2370 1020 352 83
5 100000 23700 10200 3520 832 29
6 1000000 237000 102000 35200 8320 293
7 352000 83200 2930


8 3520000 832000 29300


9 35200000 8320000 293000



注:①每个采样点应至少采样 3 次。
②本标准不适用于表征悬浮粒子的物理性、化学性、放射性及生命性。
③根据工艺要求确定
12 种粒径。
④各种要求粒径
D 的粒子最大允许浓度 Cn 由公式(3.0.1)确定,要求的粒径在 0.15μ
m 范围,包括 0.1μ m 5μ m
10 (0.1) 2.08
D
C
N
n
= × (3.0.1)
式中 Cn—大于或等于要求粒径的粒子最大允许浓度(pc/m3)Cn 是以四舍五入至相
近的整数,有效位数不超过三位数。
N—洁净度等级, 数字不超出 9, 洁净度等级整数之间的中间数可以按 0.1 为最
小允许递增量。
D—要求的粒径(μ m)
0.1—常数,其量纲为μ m
空气洁净度等级所处状态(空态、静态、动态)应与业主协商确定。
 空气洁净度的测试方法按附录 C 要求进行。


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