空气洁净度级表
空 气 洁 净 度 等 级
洁净室及洁净区内空气中悬浮粒子洁净度等级应按表
洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级
| 空气洁净 度等级 (N) | 大于或等于表中粒径的最大浓度限值(pc/m3) | |||||
| 0.1μm | 0.2μm | 0.3μm | 0.5μm | 1μm | 5μm | |
| 1 | 10 | 2 | ||||
| 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | ||
| 3 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
| 4 | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | |
| 5 | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 |
| 6 | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 |
| 7 | 352000 | 83200 | 2930 | |||
| 8 | 3520000 | 832000 | 29300 | |||
| 9 | 35200000 | 8320000 | 293000 |
注：①每个采样点应至少采样 3 次。
②本标准不适用于表征悬浮粒子的物理性、化学性、放射性及生命性。
③根据工艺要求确定 1～2 种粒径。
④各种要求粒径 D 的粒子最大允许浓度 Cn 由公式(3.0.1)确定，要求的粒径在 0.1～5μ
m 范围，包括 0.1μ m 及 5μ m。
10 (0.1) 2.08
D
C N
n = × (3.0.1)
式中 Cn—大于或等于要求粒径的粒子最大允许浓度(pc/m3)。 Cn 是以四舍五入至相
近的整数，有效位数不超过三位数。
N—洁净度等级， 数字不超出 9， 洁净度等级整数之间的中间数可以按 0.1 为最
小允许递增量。
D—要求的粒径(μ m)。
0.1—常数，其量纲为μ m。
空气洁净度等级所处状态(空态、静态、动态)应与业主协商确定。
空气洁净度的测试方法按附录 C 要求进行。
